Технология получения «жидкого» (аморфного) кремния, разработанная японскими учеными, позволят использовать для создания электронных схем струйные принтеры, что откроет перспективу как появления принципиально новых классов продуктов, так и удешевления уже существующих.

Жидкий кремний, технология промышленного производства которого разработана специалистами компании Epson, можно распылять по подложке для получения тонкой пленки, готовой для последующей обработки, и использовать в струйных принтерах для печати транзисторов. Специалисты Epson считают, что этот способ окажет значительное влияние на методы изготовления полупроводниковых чипов в будущем.

Новая форма кремния была разработана Epson совместно с японской компанией JSR Corporation, занимающейся исследованиями в области химии. Некоторые моменты новой технологии CNews освещал ранее, однако теперь появилась возможность рассказать об этом более подробно.

Несмотря на то, что кремний является одним из наиболее распространенных на Земле химических элементов, из которого на одну треть состоит земная кора, использование кремния в микроэлектронике сопряжено с рядом трудностей, ведущих к удорожению конечного продукта. Сверхчистый кремний дорог, к тому же значительная его часть теряется на различных стадиях производства микросхем. Однако альтернативу существующим технологиям пока что найти не удалось.

В то время как многие специалисты сконцентрировались на поиске и создании материалов, способных заменить кремний, ученые из Epson решили подойти к этой проблеме с другой стороны. Вместо поиска заменителя кремнию Тацуа Шимода (Tatsuya Shimoda) из научно-исследовательского подразделения компании предложил создать новую форму кремния, используя для этого процесс химического растворения, переводящий твердое вещество в раствор.

Было выдвинуто предположение, что в жидкой форме кремний можно использовать наподобие чернил. Данный метод должен был позволить значительно снизить расход вещества и использовать лишь его необходимое количество при производстве транзисторов.

Большинство ученых посчитали данную идею бессмысленной, полагая, что создание раствора загрязнит кремний и сделает его непригодным к использованию. Более того, даже в случае успешного исхода возникают дополнительные трудности в реализации процесса изготовления транзисторов.

Однако специалисты в области химии из компании JSR поддержали идею Epson. Проведя ряд экспериментов, совместная группа остановилась на комбинированной форме кремния и водорода, известной как циклопентазилин (cyclopentasilane), состоящей из пяти атомов кремния и 10 атомов водорода. Однако первые попытки использовать циклопентазин для создания кремниевого слоя оказались неудачными.

«Несмотря на то, что при комнатной температуре данная смесь находится в жидком состоянии, и, таким образом, идеально подходит для решения поставленной задачи, при нагреве она испаряется еще до того, как образуется кремниевая пленка, не оставляя на подложке ничего вообще», - пояснил руководитель группы Масахиро Фурусава (Masahiro Furusawa).

В портфель Обсудить Распечатать Переслать новость

Интересные материалы:
• Nokia выпустила телефон с поддержкой Skype
• Лучшие игры марта. Парад хитов
• "ВымпелКом" отдаст сотрудникам $81 млн.
• Мининформсвязи прекращает спонсировать "карманные" СМИ
• Россия поставила новое усовершенствованное топливо на украинскую АЭС

все новости